電感式壓力傳感器在四柱油壓機(jī)中的工作原理是怎么的？

電感式壓力傳感器在四柱油壓機(jī)中的工作原理是怎么的？
壓力傳感器為電測壓式壓力儀器。其種類很多,如電阻應(yīng)變式、電容式、電感式、壓電式以及半導(dǎo)體式壓力傳感器等。不同的壓力傳感器常配有專用的測量電路或通用的測量儀器。 如圖上圖所示,電感式壓力傳感器的壓力敏感元件多采用金屬制的圓形膜片(平形與波紋形),其結(jié)構(gòu)原理為:測量膜片1為波紋膜片(可輸出較大位移,但不抗振、不抗沖擊),用來感受被測壓力,片1與可變電感的活動(dòng)磁芯6機(jī)械相連,膜片3將片1(壓電敏感元件)和被測液體隔開,片3之間的壓力傳遞由中間填充液4實(shí)現(xiàn),填充液為硅油或氟化石墨潤滑劑。在被測液體壓力作用下,件1變形,帶動(dòng)與其機(jī)械連接的可動(dòng)磁芯6移動(dòng),從面改變兩個(gè)電感檢測線7的電感值,使電感電橋有電壓輸出,其值與被測電壓有確定的關(guān)系。為了減少溫度和非線性對測量精度的影響,設(shè)有補(bǔ)償電路。
膜片式壓力變送器的測壓量程從0~0.8MPa到0~2.5MPa片式壓差傳感器的測壓量程從0~8×10MPa到0~2.5MPa;大靜壓力為20MPa或50MPa;測量精度為士0.25%:非線性≤士0.2%。